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震驚!阿爾卡特ALCATEL分子泵的轉子被打碎了
震驚!阿爾卡特ALCATEL分子泵的轉子被打碎了
更新時間:2020-06-16 點擊次數:1346
阿爾卡特ALCATEL分子泵
是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設備。正確的使用和及時的保養,對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大。造成分子泵轉子、靜子打碎的原因比較多,歸納起來主要是以下幾點:
①誤操作;比如突然的破真空,因為轉子與靜子葉片之間的空隙非常的小,如果葉片的材質比較薄或者比較軟,突然的空氣阻力會造成葉片變形,這樣可能會造成轉子靜子之間的摩擦,導致打碎。
②是異物掉入;沒有安裝過濾網使肯定不行的,另外掉進去的東西不一定要多大,但如果硬度夠了一樣會造成傷害,輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀,重則打碎葉片。所以現在的設備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側麵90度或倒立安裝,避免異物掉入。
③電壓的不穩定,特別對磁浮類的分子泵損傷較大。
④前級泵的效率差;我們知道腔體內的大部分氣體首先是通過前級泵抽出,真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差,分子泵就會比較吃力,啟動速度慢,抽氣時間長,電流高,分子泵溫度升高等。
⑤分子泵保養時的動平衡沒有做好,這是技術的關鍵,動平衡差,振動就大,抽氣效率就差,也容易造成軸承部分的過度磨損。
⑥軸承部分沒有使用原廠的標準軸承,效果和尺寸不標準等。
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