阿爾卡特ALCATEL分子泵的3種基本形式

    阿爾卡特ALCA分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口後為前級抽走的一種真空泵。分子泵與油封式旋片泵和渦輪式幹泵相比，工作環境更加清潔，而且可以達到*的真空度。但是，分子泵不能在大氣壓下工作，必須和其他能夠在大氣壓下工作的粗抽真空泵(油封式旋片泵或渦輪式幹泵)聯合使用。分子泵構造複雜、價格昂貴，高速旋轉工作時會有振動。這種泵具體可分為： 
    1)牽引分子泵：氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。
    2)渦輪分子泵：靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。
    3)複合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種複合型的分子真空泵。